项目名称：   高真空电子束蒸发镀膜机   项目编号：   ZBZXJJ******

公告开始日期：   2024-04-19 13:14:14   公告截止日期：   2024-04-24 14:00:00

采购单位：******大学   付款方式：   进口设备：甲方与所委托的进口代理公司签订代理进口委托协议后，将进口项目货款支付******银行账户，项目货款仅用于本进口项目的信用证或TT付汇及进口相关费用等。进口代理公司收到甲方合同货款后，按外贸合同要求及时履行与乙方委托的境外代理公司的付款义务。国产设备：甲方应在完成验收并建立固定资产后向乙方一次性支付本合同的总款项，乙方须向甲方出具合法有效完整的完税发票及凭证资料进行支付结算。

预算总价：   ￥200000.00

收货地址：   四川省成都市双流******大学江安校区

采购商品：   高真空电子束蒸发镀膜机   采购数量：   1   计量单位：   台   所属分类：   电子工业生产设备

品牌：   泰科诺

型号：   TEMDS500

预算单价：   ￥200000.00

技术参数及配置要求：   主要技术参数：1真空镀膜室镀膜室净尺寸: L500×W500×H650；SUS304不锈钢制作,方箱式，配有前、后门，前门水平滑开式，便于手套箱内操作；后门为侧开式门，用于设备清理维护；特点：镀膜室配置独立机架，可在脱离手套箱条件下单独调试，与手套箱之间通过镀膜室前门框密封连接，对接方便、密封可靠；2真空系统复合分子泵（抽速1300L/S）+合资直联旋片泵(抽速9L/S),超高真空插板阀； 3真空极限优于6.6×10-5Pa； 抽速：从大气抽至8×10-4Pa≤45min；4基片台 均匀区 尺寸：150mm×150mm；基片台加热：室温～300℃，PID 智能温控系统；100mm×100mm范围内均匀性±5%；5电子束蒸发源国产电子束蒸发6穴一套；功率：8KW；6电阻蒸发源/有机蒸发①配1组金属蒸发源，配套蒸发电源1台；②有机蒸发源：最高温度600℃，1组；有机蒸发源特点：角度向心可调（提高材料利用率），蒸发速率可控；有机控温蒸发电源：1套（独立PID智能温控蒸发）；③蒸发源配气动挡板及源间防污隔板。7晶振膜厚控制仪 SQM160膜厚控制仪，探头1支，晶振片1盒。8控制方式PLC+液晶屏半自动控制及保护系统；9报警及保护对泵、电极等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警并执行相应保护措施；设备主要参数：1.真空腔室①高真空不锈钢镀膜室：尺寸500×500×650mm 方形结构，前门与手套箱连接，便于蒸发材料和样片保护环境装卸；后门置于手套箱外，便于真空室的清理维护，后门带锁紧装置。腔室内表面抛光，外表面三相处理；②主要部件装配位置电子枪、蒸发源及挡板均布于腔室底部活法兰上； Ф200mm侧置抽气口；Ф10mm电磁放气阀腔室底侧部；基片台挡板、掩膜板、基片架接口等从腔室顶部、侧部引入；后门中心位置安装一个磁力Φ80mm观察窗（带挡板）；预留标准接口三个（CF35）；2.基片台①基片台：抽屉式结构，承载最大120mm×120mm基片； 配有气动基片台挡板；②基片台转速：速度0～20rpm；基片台挡板：气动控制打开方式；焊接波纹管手动升降样品台（蒸发距离70mm可调）；基片台密封：磁流体密封组件1套；③基片台加热：最高加热温度300℃，采用金属铠装加热器及金属反射板上整体安装于基片台背部对基片进行平行辐射加热，采用热电偶测温、PID智能温控仪控制；加热器加热范围大于基片外沿50mm，保证样片处于等温加热区内，温度均匀性±5℃。3. 电子束蒸发源①E型电子枪：270°偏转电子枪偏转角保证了电子束发射源材料对膜层的无污染。双向、快速的电子束扫描系统及扫描电路，避免了靶材的“扎坑”弊病。精密的水路设计，保证电子枪温升小，可以长期稳定工作。电子枪蒸发源坩埚工位为4穴或6穴可选。②电子枪电源10KVA，电子束蒸发源1台； ③电子枪挡板：1套，气动。4配电阻蒸发/有机蒸发①数量：1对电极，位于腔室底部，电极上安装蒸发舟；②结构：水冷铜电极底部通水冷却，电极夹具高度可调。电极间有隔离板，防止与电子束蒸发源的相互污染，减少相互污染；③蒸发舟：钼舟等各20支。④金属蒸发电源：功率3KW 1台；⑤特点：为逆变式 低压大电流加热模式 0～10V,0～300A可调可调，性能稳定可靠；⑥有机蒸发源：最高温度600℃，1组；有机蒸发源特点：角度向心可调（提高材料利用率），蒸发速率可控；有机控温蒸发电源：1套（独立PID智能温控蒸发）； 5.真空系统①真空机组采用“复合分子泵+直联旋片泵”高真空系统；②分子泵：型号FF200/1300，抽速：1300L/S，中科科仪；④机械泵：型号TRP-36，9L/S,北仪优成合资机械泵抽速：低噪音，高真空；⑤真空阀门： CCQ-200,超高真空插板阀； 1只； GDQ-J40mm气动前级阀 / 旁路阀各1只； Ф10mm电磁放气截止阀1只；⑦真空测量：“两低一高” 数显复合真空计，测量范围从1×105Pa到1×10-5Pa；⑧真空密封：可拆静密封采用氟橡胶圈密封；不常拆静密封采用金属密封。6.水路系统总进水采用水压继电器控制；7.电气控制系统①电气控制系统采用PLC+触摸屏控制，可实现自动一键式抽真空，镀膜电源采用手动控制，以方便用户进行镀膜工艺参数的摸索； ②控制内容：机械泵、前级阀的开与关；分子泵显示及开关控制；真空计参数显示；基片台转速、加热等控制等；③安全保护报警系统：在缺水、水压过低情况下的报警系统； 完善的逻辑程序互锁保护系统；8.控制柜与机架可以整体移动、安装，底下配脚轮，方便移动、定位；电子枪电源独立电柜 1套

售后服务：   服务年限:24月;电话支持:7x24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;质保期:两年;